透明硬脆材料激光精密加工设备

Ø 采用高能量脉冲激光器，对玻璃/石英/碳化硅/金刚石等透明硬脆材料进行高效切割/钻孔

Ø 配备自动影像定位系统，环境安全系统，自动化程度高

Ø 成熟的工业设计，设备人机交互便捷

光学性能

加工性能

序号

项目

参数

序号

项目

参数

1

激光器类型

532nm

1

加工幅面

500mm×500mm可定制

2

冷却方式

恒温水冷

2

平台定位精度  

±5μm

3

激光功率

10-50W可选

3

最小加工半径

0.1mm

4

激光频率

10-120Hz

4

平台重复精度

±3μm

5

光束质量

M²＜1.3

5

加工崩边

<10μm