皮秒精密加工设备

Ø 采用超快激光搭配高速振镜扫描、显微物镜加工、群孔微纳加工、高径深比孔加工等

Ø 可用于超疏水微纳结构、仿生表面微结构的制备

Ø 可针对材料进行定制装备性能，人机交互便捷，操作简单

光学性能

加工性能

序号

项目

参数

序号

项目

参数

1

激光器类型

1064/355nm可选

1

加工幅面

500mm×300mm

可定制

2

冷却方式

恒温水冷

2

加工精度

5μm

3

激光功率

10-50W可选

3

运动轴  

三轴/五轴

4

激光频率

50-2000kHz

4

运动精度

±0.005mm

5

光束质量

M²＜1.3

5

传动方式

直线电机